4月24日,真空科技成果轉(zhuǎn)化(昆山)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地揭牌暨萊庫(kù)真空裝備總部項(xiàng)目簽約儀式舉行。
中國(guó)真空學(xué)會(huì)是我國(guó)真空科技領(lǐng)域最高學(xué)術(shù)團(tuán)體,匯聚了全國(guó)90%以上的真空領(lǐng)域頂尖專家。此次掛牌的“真空科技成果轉(zhuǎn)化(昆山)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地”及“中國(guó)真空學(xué)會(huì)(昆山)服務(wù)站”,將通過學(xué)會(huì)的學(xué)術(shù)資源與昆山的產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢(shì)聯(lián)動(dòng),推動(dòng)超導(dǎo)真空設(shè)備、半導(dǎo)體真空應(yīng)用等關(guān)鍵技術(shù)轉(zhuǎn)化。
現(xiàn)場(chǎng),萊庫(kù)真空裝備總部項(xiàng)目正式簽約。該項(xiàng)目由萊庫(kù)(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司投資建設(shè),總投資超5億元,聚焦集成電路半導(dǎo)體裝備、顯示面板設(shè)備等四大核心領(lǐng)域。項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)后預(yù)計(jì)年產(chǎn)值20億元,將為我國(guó)高端裝備國(guó)產(chǎn)化提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)由國(guó)務(wù)院特殊津貼專家教授團(tuán)隊(duì)領(lǐng)銜,并引入美國(guó)應(yīng)用材料公司前技術(shù)專家,自主研發(fā)的超高真空度、大尺寸腔體精密成型等技術(shù)達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平,打破了國(guó)外壟斷。
近年來,昆山持續(xù)深化“產(chǎn)學(xué)研用”協(xié)同創(chuàng)新,此次真空科技成果轉(zhuǎn)化(昆山)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新基地揭牌與萊庫(kù)項(xiàng)目的落地,有助于進(jìn)一步補(bǔ)強(qiáng)我市半導(dǎo)體、智能終端等產(chǎn)業(yè)鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)?;顒?dòng)期間,中國(guó)真空學(xué)會(huì)第十屆二次常務(wù)理事會(huì)擴(kuò)大會(huì)議和2025年真空科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展交流“昆山行”活動(dòng)舉行,與會(huì)專家學(xué)者作主題演講,與會(huì)人員還前往萊庫(kù)(蘇州)半導(dǎo)體科技有限公司等地參觀。