3月14日，“新質領航π生科創”昆山市科技創新大會暨祖沖之攻關計劃發布會舉行。會上，我市揭曉了2024年度祖沖之攻關計劃優秀項目。
項目名稱：基于微納氣泡強化的集成電路14nm先進制程單片清洗設備研發及產業化
承擔單位：蘇州智程半導體科技股份有限公司
合作單位： 東南大學
項目突破“微納氣泡強化晶圓表面清洗機制研究”、“清洗過程液流在晶圓表面全時空數值模擬平臺開發”、“微納氣泡強化清洗液發生系統及精準控制系統研發”等關鍵技術問題，研發集成電路14nm制程清洗設備，達到國際同類產品技術水平，為集成電路先進制程國產化補上重要一環。
蘇州智程半導體科技股份有限公司成立于2009年，注冊資本7689.65萬元人民幣，是一家致力于半導體領域濕制程設備研發生產的國家高新技術企業和國家專精特新“小巨人”企業。公司主營產品是用于半導體晶圓制造的清洗設備、電鍍設備、去膠設備、涂膠顯影設備等濕法設備，產品廣泛應用于半導體前道制程、大硅片、先進封裝、化合物半導體、功率器件等半導體制造領域。公司始終堅持差異化競爭策略與創新發展思路，濕法設備在眾多性能以及工藝方面達到了國際水平，已進入化合物半導體制造、硅基半導體制造等領域的頭部企業供應鏈，與國內眾多半導體領域主流廠商建立合作關系。
公司在先進制程清洗設備國產化過程中，也面臨一系列技術難題，在市科技局的牽線搭橋下，以“企業出題、高校解題、政府助題”的創新模式，推動東南大學前沿技術成果與智程產業化能力的深度對接，僅用一年時間便完成了相關技術轉化，成功研制出國產首套對標國際龍頭企業的先進制程清洗設備，未來三年預計將為公司新增銷售收入3億元，實現“從實驗室到生產線”的高效跨越。
